芯上微装第500台步进光刻机成功交付
行业资讯 2025-08-08 18:27577
【芯上微装第500台步进光刻机成功交付】8月8日，上海芯上微装科技股份有限公司举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的第500台步进光刻机将交付给盛合晶微，后者是集成电路晶圆级先进封测企业。（芯上微装）
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